绿碳化硅微粉的莫氏硬度达到9.5左右,在磨料中表现出色。这一高硬度使得它成为加工硬质合金、玻璃、陶瓷和非金属材料的理想选择。特别是在半导体行业,绿碳化硅微粉被广泛用于研磨和抛光硅片,这是制造半导体器件的关键步骤。
由于其优异的物理和化学性质,绿碳化硅微粉能够提供高效率和高质量的加工效果,确保半导体晶圆的平整度和光滑度,这对于提高电子设备的性能至关重要
绿碳化硅微粉的性能:
1、绿碳化硅微粉质量稳定,结芯片好,外表清洁度高,无大颗粒,细粒含量少,粒度散布集中,研磨效率高;
2、绿碳化硅微粉与聚乙二醇等切削液有很好的实配性,表面经过特殊处理,具备大的比表面积和清洁的外表;
3、高纯度、大结晶的碳化硅原材料,粒度分布集中并且均匀,保证了碳化硅切割微粉的优良切割性能和稳定的物理状态;
4、较高的热震稳定性和荷重软化温度,使荷重切割时保证了小的线膨胀系数,从而保证切割的稳定性,与切割机具有较高的适配性。
绿硅微粉的粒度分布:
粒度 | D0(um) | D3(um) | D50(um) | D94(um) |
#240 | 127以下 | 103以下 | 57.0±3.0 | 40以上 |
#280 | 112以下 | 87以下 | 48.0±3.0 | 33以上 |
#320 | 98以下 | 74以下 | 40.0±2.5 | 27以上 |
#360 | 86以下 | 66以下 | 35.0±2.0 | 23以上 |
#400 | 75以下 | 58以下 | 30.0±2.0 | 20以上 |
#500 | 63以下 | 50以下 | 25.0±2.0 | 16以上 |
#600 | 53以下 | 41以下 | 20.0±1.5 | 13以上 |
#700 | 45以下 | 37以下 | 17.0±1.5 | 11以上 |
#800 | 38以下 | 31以下 | 14.0±1.0 | 9.0以上 |
#1000 | 32以下 | 27以下 | 11.5.±1.0 | 7.0以上 |
#1200 | 27以下 | 23以下 | 9.5±0.8 | 5.5以上 |
#1500 | 23以下 | 20以下 | 8.0±0.6 | 4.5以上 |
#2000 | 19以下 | 17以下 | 6.7±0.6 | 4.0以上 |
#2500 | 16以下 | 14以下 | 5.5±0.5 | 3.0以上 |
#3000 | 13以下 | 11以下 | 4.0±0.5 | 2.0以上 |
#4000 | 11以下 | 8.0以下 | 3.0±0.4 | 1.8以上 |
#6000 | 8.0以下 | 5.0以下 | 2.0±0.4 | 0.8以上 |
#8000 | 6.0以下 | 3.5以下 | 1.2±0.3 | 0.6以上 |