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晶圆抛光/光学玻璃抛光用绿碳化硅微粉

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绿碳化硅微粉以其独特的性能和用途,在众多领域中发挥着不可替代的作用。它是一种优质的磨料,具有硬度高、耐磨性好、化学性能稳定等特点,适用于各种金属和非金属材料的加工和抛光。


产品应用范围:

1)电子行业 : 半导体单晶硅片、压电石英晶体、化合物半导体(砷化镓、磷化铟)的研磨抛光。

2)玻璃行业 : 光学玻璃晶体研磨抛光。
化学成分

SiC Fe2O3 F.C SiO2 磁性物含量
≥99% ≤0.4% ≤0.20% ≤0.05% ≤0.017%

 
物理特性

莫氏硬度 比重 最高使用温度 熔点
9.4 ≥3.90g/cm3 1900℃ 2250℃

 
微粉粒度组成标准

粒度 D0(um) D3(um) D50(um) D94(um)
#240 127以下 103以下 57.0±3.0 40以上
#280 112以下 87以下 48.0±3.0 33以上
#320 98以下 74以下 40.0±2.5 27以上
#360 86以下 66以下 35.0±2.0 23以上
#400 75以下 58以下 30.0±2.0 20以上
#500 63以下 50以下 25.0±2.0 16以上
#600 53以下 41以下 20.0±1.5 13以上
#700 45以下 37以下 17.0±1.5 11以上
#800 38以下 31以下 14.0±1.0 9.0以上
#1000 32以下 27以下 11.5.±1.0 7.0以上
#1200 27以下 23以下 9.5±0.8 5.5以上
#1500 23以下 20以下 8.0±0.6 4.5以上
#2000 19以下 17以下 6.7±0.6 4.0以上
#2500 16以下 14以下 5.5±0.5 3.0以上
#3000 13以下 11以下 4.0±0.5 2.0以上
#4000 11以下 8.0以下 3.0±0.4 1.8以上
#6000 8.0以下 5.0以下 2.0±0.4 0.8以上
#8000 6.0以下 3.5以下 1.2±0.3 0.6以上

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